Der Vacuum Support mit 8 Zoll Aufnahmeplatte fixiert Substrate bis zu einer Größe von 8 x 8 Zoll. Um Substrate in der erforderlichen Position zu halten, wird auf der Ablagefläche ein Unterdruck erzeugt. So lassen sich die oft unzureichenden Haftungseigenschaften von besonders dünnen und leichten Trägermaterialen, wie beispielsweise Folien, Keramiken oder flexible Leiterplatten, kompensieren.
Insbesondere bei Prozessen mit hohen Genauigkeitsanforderungen gewährleistet der Vacuum Support eine stabile Lage des Substrats während des gesamten Bearbeitungsvorgangs. Das Vakuum wird mittels Druckluft über den integrierten Vakuumerzeuger bereitgestellt bzw. wird direkt über den Vakuumanschluss zugeführt.
Die Aufnahmeplatte ist auswechselbar und optional in Größen von 4 bis 8 Zoll erhältlich.
Im Lieferumfang ist eine ebene 8 Zoll Vakuumplatte enthalten.