Feeding Equipment
Einzelwafereinzug
10.000,00 € exkl. MwSt.
Beschreibung
Der Einzelwafereinzug stellt der Die Eject Unit einzeln Wafer zur Verfügung.
Über den Einzelwafereinzug erfolgt die Zuführung eines zu bearbeitenden und die Entnahme des abgearbeiteten Wafers. Es kann immer nur ein Wafer zugeführt bzw. entnommen werden. Die Zuführung der Wafer erfolgt, ohne die Tür der Maschine öffnen zu müssen.
Der Einzug ist für Wafer bis zu einer Größe von 8 Zoll ausgelegt.
Der Einzelwafereinzug ist mit einem Laserschutzfenster ausgestattet und kann somit auch in Maschinen mit Laseranwendungen verwendet werden.
Zusätzliche Informationen
Abmessungen in mm (B x T x H) |
371,5 x 161 x 251 |
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Max. Wafergröße in Zoll / mm |
8 / 200 |