Die Camera 2D ist ein Inspektionskopf zur optischen Erkennung von Strukturen auf Bauteil- und Substratoberflächen. Die erfassten Bilddaten werden mit der Anlagensteuerungssoftware verarbeitet. Fehlerkompensations-Algorithmen sorgen dafür, dass Abweichungen von Sollpositionen durch Neuausrichtung der Bearbeitungsköpfe korrigiert werden. Der Z-Achs-Hub von 150 mm ermöglicht zudem die Erkennung von Positionen in sehr unterschiedlichen Höhen.
Dieser Inspektionskopf ist in verschiedenen Varianten erhältlich:
Produkt | Bildfeld (Breite x Höhe) in mm | Auflösung in µm |
Camera 2D S2-0039 | 0,75 x 0,5 | 1 |
Camera 2D S2-0025 | 6,4 x 4,8 | 2,5 |
Camera 2D S2-0026 | 25,6 x 19,2 | 10 |