Feeding Equipment
Die Eject Unit mit Einzelwaferwechsler und NVS-Wechsler

Das Wafersystem bestehend aus Die Eject Unit, Einzelwaferwechsler und Nadelvakuumsystem-Wechsler (NVS-Wechsler) dient zum Laden von Wafern und dem Lösen von Bauteilen aus dem Wafer-Verbund, um diese der Maschine zur Weiterverarbeitung zur Verfügung zu stellen. Die auf der Folie fixierten Bauteile werden mit einem Needle Vacuum System gelöst und somit vereinzelt.

Über den Einzelwaferwechsler erfolgt die Zuführung eines zu bearbeitenden und die Rückführung des abgearbeiteten Wafers. Durch ein integriertes Magazin ist es möglich, bis zu 25 Wafer mit einer Größe von 4″ – 8″ automatisch wechselnd nacheinander bereit zu stellen.

Die Zuführung der Wafer erfolgt, ohne die Tür der Maschine öffnen zu müssen.

Der Einzelwaferwechsler ist mir einem Laserschutzfenster ausgestattet, wodurch das Wafersystem auch in Maschinen mit Laseranwendungen verwendet werden kann.

Der integrierte NVS-Wechlser ermöglicht den automatischen Wechsel der Nadelvakuumsysteme während des Bearbeitungsprozesses. Der Wechsler bietet Platz für bis zu  3 Nadelvakuumsysteme, wodurch das gesamte System entsprechend mit 3 Nadelvakuumsystemen arbeiten kann.