Feeding Equipment
Einzelwaferwechsler
30.000,00 € exkl. MwSt.
Beschreibung
Der Einzelwaferwechsler stellt der Die Eject Unit einzeln Wafer zur Verfügung.
Über den Einzelwaferwechsler erfolgt die Zuführung eines zu bearbeitenden und die Rückführung des abgearbeiteten Wafers. Durch ein integriertes Magazin ist es möglich, bis zu 25 Wafer mit einer Größe von 4“ – 8“ automatisch wechselnd nacheinander bereit zu stellen.
Die Zuführung der Wafer erfolgt, ohne die Tür der Maschine öffnen zu müssen.
Der Waferwechsler ist mit einem Laserschutzfenster ausgestattet und kann somit auch in Maschinen mit Laseranwendungen verwendet werden.
Zusätzliche Informationen
| Abmessungen in mm (B x T x H) |
394,5 x 350 x 439,5 |
|---|---|
| Gewicht in kg |
21,5 |
| Max. Wafergröße in Zoll / mm |
8 / 200 |
| Spannung in V |
24 |
| Max. Stromstärke in A |
3 |
| Kommunikationsschnittstelle |
UNICAN |