Vacuum Support

Die Vakuum-Substrataufnahme für auswechselbare 4 bis 8 Zoll Aufnahmeplatten fixiert verschiedene Substratgrößen. Um Substrate in der erforderlichen Position zu halten, wird auf der Ablagefläche ein Unterdruck erzeugt. So lassen sich die oft unzureichenden Haftungseigenschaften von besonders dünnen und leichten Trägermaterialen, wie beispielsweise Folien, Keramiken oder flexible Leiterplatten, kompensieren.
Insbesondere bei Prozessen mit hohen Genauigkeitsanforderungen gewährleistet die Vakuum-Substrataufnahme eine stabile Lage des Substrats während des gesamten Bearbeitungsvorgangs. Das Vakuum wird mittels Druckluft über den integrierten Vakuumerzeuger bereitgestellt bzw. wird direkt über den Vakuumanschluss zugeführt.